招標(biāo)編號(hào): | 0730-1040GD040205 |
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加入日期: | 2010.03.18 |
截止日期: | 2010.04.07 |
招標(biāo)代理: | 中航技國際經(jīng)貿(mào)發(fā)展有限公司 |
地 區(qū): | 上海市 |
內(nèi) 容: | 01 主要規(guī)格: 經(jīng)過廢氣處理設(shè)備處理后廢氣的濃度(出口) CF4 ≦10 % (去除能力:>98%) C4F8 ≦0.5 ppm (去除能力:>99.9%) BCL3 ≦0.5 ppm (去除能力:>99.9%) SF6 ≦10 % (去除能力:>99.9%) CL2 ≦0.5ppm (去除能力:>99.9%) 兩條干刻線的廢氣流量(入口) 等 |