項(xiàng)目名稱：西安交通大學(xué)機(jī)械學(xué)院噴霧式光刻膠涂布裝置

招標(biāo)編號(hào): 西交實(shí)招（2010）S063號(hào)

招標(biāo)單位：西安交通大學(xué)實(shí)驗(yàn)室與資產(chǎn)管理處

西安交通大學(xué)根據(jù)國家招投標(biāo)法律法規(guī)和學(xué)校管理要求, 擬以招標(biāo)方式采購下列貨物。

一、    招標(biāo)采購項(xiàng)目內(nèi)容及數(shù)量：噴霧式光刻膠涂布裝置 1臺(tái)

噴膠機(jī)是現(xiàn)代光電子產(chǎn)業(yè)中光刻膠涂布的重要設(shè)備。可對(duì)不同尺寸和形狀的基片進(jìn)行涂膠，最大涂膠尺寸達(dá)8”，得到厚度均勻的光刻膠層，同時(shí)可對(duì)大深寬比結(jié)構(gòu)的側(cè)壁進(jìn)行均勻涂膠；通過計(jì)算機(jī)系統(tǒng)控制器進(jìn)行工藝參數(shù)的編輯和操作，對(duì)噴膠的關(guān)鍵使用性能要求如下：

1.        可用于對(duì)不同形狀尺寸的基片進(jìn)行噴膠.最大噴膠尺寸要求達(dá)到8”。

2.        可對(duì)不粘度的膠進(jìn)行噴涂，供膠分辨率在15uL以內(nèi)。

3.        可對(duì)大深寬比結(jié)構(gòu)進(jìn)行側(cè)壁涂膠，得到厚度均勻的膠膜。

4.        噴膠均勻性要求：單片表面≤ ±15%， 片間為 ≤ ±10%。

5.        計(jì)算機(jī)系統(tǒng)控制工藝參數(shù)。

6.        可手動(dòng)卸載基片。

7.        可對(duì)基片喝夾具加熱。

8.        噴膠室易清洗。

9.        供膠流速和流量可編程。

10.    供膠回吸量可調(diào)節(jié)。

11.    適用于所有光刻膠和聚合物。

12.    具有自動(dòng)針管式膠液供給系統(tǒng)，可調(diào)節(jié)壓力控制及測(cè)量計(jì)，并具有膠液回吸功能。

13.    基片可對(duì)準(zhǔn)。

二、投標(biāo)人的必備資格要求：

（一）投標(biāo)人必須符合《中華人民共和國政府采購法》第二十二條之規(guī)定；

（二）  投標(biāo)人要具有獨(dú)立法人資格、稅務(wù)登記證、相關(guān)貨物經(jīng)營許可證，具有良好的企業(yè)形象和信譽(yù)，良好的銀行資信狀況；

（三）投標(biāo)人在近三年內(nèi)沒有違法行為，在以往政府采購活動(dòng)中沒有違規(guī)和違約行為。

三、投標(biāo)報(bào)名或資格預(yù)審必須提供的文件：

（一）法定代表人授權(quán)委托書（加蓋公章）；

（二）生產(chǎn)商產(chǎn)品授權(quán)書原件；

（三）工商營業(yè)執(zhí)照副本原件和1份復(fù)印件（原件驗(yàn)后歸還，復(fù)印件須加蓋公章）；

（四）《稅務(wù)登記證》、《中華人民共和國組織機(jī)構(gòu)代碼證》原件和各1份復(fù)印件（原件驗(yàn)后歸還，復(fù)印件須加蓋公章）。

四、報(bào)名時(shí)間：2010年10月14日至2010年10月24日

五、 報(bào)名地點(diǎn)：西安交通大學(xué)政府采購辦公室

地址：***

聯(lián)系人***

聯(lián)系電話***

電子郵箱***

傳真：***

郵編：710049　

歡迎符合條件的供應(yīng)商參加投標(biāo)。

注：投標(biāo)人須對(duì)其所提供資料的真實(shí)性負(fù)責(zé)，如有作假，一經(jīng)發(fā)現(xiàn)立即取消投標(biāo)資格，并將其列入不良行為記錄名單，同時(shí)在網(wǎng)上進(jìn)行實(shí)名通報(bào)，一至三年內(nèi)禁止參加西安交通大學(xué)及其附屬單位的采購活動(dòng)。