河南省科教儀器設(shè)備招標(biāo)有限公司受委托擬對掃描探針顯微鏡進(jìn)行單一來源采購,現(xiàn)將技術(shù)參數(shù)及功能要求上網(wǎng)公示,請各潛在供應(yīng)商對公示的內(nèi)容是否合理提出意見和建議。
所有意見應(yīng)于2010年10月18日中午12:00(北京時(shí)間)前以書面形式把意見書(注明聯(lián)系人、聯(lián)系電話***
聯(lián)系人***
電 話:0371-66396893
傳 真:0371-66364470
附:設(shè)備技術(shù)參數(shù)及功能要求
1 設(shè)備名稱:掃描探針顯微鏡
2 設(shè)備數(shù)量:1套
3 設(shè)備用途:對金屬、半導(dǎo)體、陶瓷、有機(jī)物、高分子、生物體等樣的表面可在納米尺度下進(jìn)行觀測形貌及力學(xué)等物體特性測試?蓱(yīng)用于材料科學(xué)、納米生物、物理學(xué)、化學(xué)、電子學(xué)、半導(dǎo)體等領(lǐng)域應(yīng)用。
應(yīng)用領(lǐng)域:
微電子—半導(dǎo)體設(shè)備,數(shù)據(jù)存儲(chǔ)磁頭和媒體,應(yīng)用包括形貌、電屬性和力學(xué)測量(摻雜,膜厚,磁疇分布等)
先進(jìn)材料—聚合物,金屬,陶瓷,MEMS/NEMS,應(yīng)用包括形貌測量,分子研究,磨損/摩擦學(xué)研究等方面
光通訊—激光和其他設(shè)備,應(yīng)用包括形貌和電屬性測量
生命科學(xué)/生物技術(shù)—細(xì)胞,組織,DNA,蛋白質(zhì),應(yīng)用包括形貌測量和單個(gè)分子之間相互作用力的力學(xué)測量。
制藥—藥品交貨/密封包裝,藥品發(fā)明,結(jié)晶性等
納米操縱/刻蝕 —在納米級別組裝結(jié)構(gòu),操縱原子和分子,進(jìn)行刻蝕。
4 工作條件
4.1電源:220V 1500W
4.2 氣源:20-40PSI壓縮空氣
4.3環(huán)境溫度:10℃~30℃;
4.4環(huán)境濕度: 10%~80%
5 詳細(xì)技術(shù)性能要求:
*5.1 此系統(tǒng)應(yīng)具有以下工作模式:contact AFM(接觸模式),Tapping mode(輕敲模式),Lift mode(抬起模式),Phase imaging(相位成像模式),LFM(橫向力顯微鏡), STM(掃描隧道顯微鏡),MFM(磁力顯微鏡模式),EFM(靜電力顯微鏡模式),Surface potential(表面電勢成像),Piezo response(壓電響應(yīng)成像),CAFM(導(dǎo)電原子力成像模式)
5.2噪音:RMS < 0.3 Å (垂直方向).,橫向分辨率:0.2nm (XY方向)
可得到穩(wěn)定的云母及石墨原子像
5.3掃描方式:為保證最短機(jī)械回路,高分辨率測試,控制最低噪音水平,必須提供樣品掃描方式工作。探針、探針支架、激光反饋裝置保持靜止。掃描管為軟件線性校準(zhǔn)管狀全對稱掃描管 。
5.4 氣浮防震平臺,防震頻率1HZ
*5.5 光學(xué)系統(tǒng):在操作原子力顯微鏡、掃描隧道顯微鏡的同時(shí),可獲得光學(xué)圖象,10倍Nikon物鏡(工作距離:49.5mm; 數(shù)值孔徑:0.2; 分辨率:1.6µm),垂直方向移動(dòng)范圍超過400mm, 放大倍率450倍。
*5.6管狀掃描器兩個(gè)
小掃描器:XY方向掃描范圍≧10 μm ,Z方向掃描范圍≧2.5 μm
大掃描器:XY方向掃描范圍≧125 μm,Z方向掃描范圍≧5 μm
*5.7掃描隧道顯微鏡需滿足以下指標(biāo):
具有1011V/A的前置放大器,可對半導(dǎo)體樣品進(jìn)行成像?赏ㄟ^開關(guān)選擇1010V/A和1011V/A兩個(gè)增益值,可通過開關(guān)選擇400Hz, 1.5KHz, 4KHz三個(gè)濾波器。
*5.8 導(dǎo)電原子力顯微鏡需滿足以下指標(biāo):
電流測量范圍從50fA到1uA,電流分辨率可達(dá)50fA。樣品上可加偏壓大小從-12V到12V。
5.9 控制器:控制器應(yīng)在每根軸上都有三個(gè)獨(dú)立的DAC位(共9個(gè))的數(shù)模轉(zhuǎn)換器,用來控制掃描尺寸、掃描形狀和偏移量。
6附件及備件
6.1 接觸模式探針:70根
6.2 輕敲模式探針:60根
6.3 導(dǎo)電探針:50根
6.4 磁力顯微鏡探針:10根
6.5 STM探針:20根
6.6 HOPG一個(gè)(12mm x 12mm)
6.7 液晶顯示器:21英寸液晶顯示器2臺(液晶顯示器可在國內(nèi)購置)