南京航空航天大學(xué)高新技術(shù)研究院,所需電子束曝光系統(tǒng)項(xiàng)目進(jìn)行招標(biāo),現(xiàn)邀請(qǐng)具備相應(yīng)資質(zhì)的單位前來投標(biāo)。
1 項(xiàng)目概述
電子束曝光系統(tǒng)項(xiàng)目及相關(guān)服務(wù)。
2 招標(biāo)設(shè)備清單及技術(shù)要求
2.1設(shè)備清單
圖形發(fā)生器 1
圖形曝光軟件包 1
控制主機(jī) 1
輔助樣品及工具 1套
備品備件 若干
2.2技術(shù)要求
u 圖形發(fā)生器掃描頻率>2.5MHz,電子束駐留時(shí)間最小增量<100ns
u 自動(dòng)計(jì)算曝光參數(shù)
u 能夠制作、識(shí)別對(duì)位標(biāo)記,并自動(dòng)通過識(shí)別標(biāo)記對(duì)精細(xì)尺寸圖形和大尺寸圖形進(jìn)行曝光控制和拼接
u 支持點(diǎn)、線、面、復(fù)雜圖形及CAD、GDSII 等數(shù)據(jù)格式
u 支持多層多次曝光的拼接套刻。
u SEM、EDX能譜、EBL不影響相互功能的互聯(lián)和轉(zhuǎn)接
u 在電子束滿足要求下,可以較容易完成最下100nm特征尺寸的圖形
u 法拉第杯束流檢測(cè)Faraday cup for probe current measurement(電鏡配備則不需)
u 束闌控制器 (Beamblanker Driver Electronics) (電鏡配備則不需)
3 投標(biāo)要求:
1) 投標(biāo)書中須含技術(shù)響應(yīng)偏離表,列明產(chǎn)品品牌、型號(hào)、單項(xiàng)報(bào)價(jià)及總價(jià);如有必要,需方將先進(jìn)行技術(shù)評(píng)審;
2) 本項(xiàng)目的總報(bào)價(jià)須為所有設(shè)備包含運(yùn)費(fèi)、現(xiàn)場(chǎng)改造費(fèi)、安裝調(diào)試費(fèi)、培訓(xùn)和售后服務(wù)費(fèi)的所有費(fèi)用總計(jì);如是進(jìn)口產(chǎn)品,應(yīng)報(bào)兩個(gè)總價(jià)格:按外幣報(bào)免稅價(jià)和按人民幣報(bào)含稅價(jià)。
3) 本項(xiàng)目所列技術(shù)要求,應(yīng)視為保證涉及系統(tǒng)運(yùn)行所需的最低要求,如有遺漏,投標(biāo)人應(yīng)予以補(bǔ)充,否則,一旦中標(biāo)將認(rèn)為投標(biāo)人認(rèn)同遺漏部分并免費(fèi)提供。
4) 合同簽訂后,本項(xiàng)目設(shè)備需在電鏡到位后一個(gè)月內(nèi)完成供貨且安裝調(diào)試完畢。
5) 項(xiàng)目必須提供完善的培訓(xùn)和售后服務(wù)。提供培訓(xùn)內(nèi)容至少包括: EBL使用及參數(shù)選擇、曝光全流程的實(shí)現(xiàn)、標(biāo)準(zhǔn)器件的制作,培訓(xùn)至少保證4人以上能完成曝光系統(tǒng)的日常使用和維護(hù)。培訓(xùn)產(chǎn)生的相關(guān)費(fèi)用均包含在投標(biāo)總價(jià)中,投標(biāo)人應(yīng)根據(jù)上述要求在投標(biāo)書中以單獨(dú)列表形式列明費(fèi)用清單。
6) 任一投標(biāo)人中標(biāo)后,中標(biāo)的投標(biāo)人須在自中標(biāo)結(jié)果公布起三十個(gè)工作日內(nèi)與招標(biāo)方簽訂銷售合同并使之生效。合同的主要條款包含該投標(biāo)人在投標(biāo)書中對(duì)設(shè)備及其性能指標(biāo)的所有陳述以及該投標(biāo)人的授權(quán)代表在評(píng)標(biāo)現(xiàn)場(chǎng)的書面或口頭承諾。
7) 投標(biāo)的產(chǎn)品免費(fèi)質(zhì)保期不少于一年。
4 報(bào)名時(shí)間、地點(diǎn)及聯(lián)系電話
報(bào)名時(shí)間:2011年3月8日—3月14日(工作日時(shí)間:早上8:00——12:00,下午14:00——17:00)
遞交投標(biāo)文件地點(diǎn):南京航空航天大學(xué)明故宮校區(qū)綜合行政樓322室。
投標(biāo)人如對(duì)本招標(biāo)文件具體內(nèi)容、技術(shù)規(guī)格、參數(shù)及其他要求,需要咨詢時(shí),請(qǐng)來電話聯(lián)系。
聯(lián)系人***
電 話:025-84896397
有關(guān)本次招標(biāo)活動(dòng)的報(bào)名等具體問題,可來電話聯(lián)系。
聯(lián)系人***
電 話:025-84892959/84892542 傳真:***