招標(biāo)編號(hào): | TD2011-J-32 |
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加入日期: | 2011.05.06 |
截止日期: | 2011.05.24 |
招標(biāo)業(yè)主: | 天津大學(xué) |
招標(biāo)代理: | 天津大學(xué)資產(chǎn)處 |
地 區(qū): | 天津市 |
內(nèi) 容: | 設(shè)備名稱:低溫半導(dǎo)體探針臺(tái)系統(tǒng) 數(shù)量:1 用途: 用于測(cè)試微納米半導(dǎo)體器件,包括TFT、CMOS、LED、探測(cè)器、電池等器件的電學(xué)特性、光電特性、DC參量和低頻特性; 測(cè)試樣品在低溫以及變溫下的電學(xué)性質(zhì),據(jù)此分析器件內(nèi)部載流子傳輸機(jī)制。 等 |
天津大學(xué)低溫半導(dǎo)體探針臺(tái)系統(tǒng)項(xiàng)目(TD2011-J-32)招標(biāo)公告
受天津大學(xué)的委托,天津大學(xué)資產(chǎn)處將以公開招標(biāo)方式,對(duì)天津大學(xué)低溫半導(dǎo)體探針臺(tái)系統(tǒng)項(xiàng)目實(shí)施政府采購(gòu)。現(xiàn)歡迎合格的投標(biāo)人參加投標(biāo)。
一、項(xiàng)目名稱:低溫半導(dǎo)體探針臺(tái)系統(tǒng)(招標(biāo)編號(hào):TD2011-J-32)
二、招標(biāo)內(nèi)容: 低溫半導(dǎo)體探針臺(tái)系統(tǒng)
設(shè)備名稱:低溫半導(dǎo)體探針臺(tái)系統(tǒng)
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數(shù)量:1
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用途:
用于測(cè)試微納米半導(dǎo)體器件,包括TFT、CMOS、LED、探測(cè)器、電池等器件的電學(xué)特性、光電特性、DC參量和低頻特性;
測(cè)試樣品在低溫以及變溫下的電學(xué)性質(zhì),據(jù)此分析器件內(nèi)部載流子傳輸機(jī)制。
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對(duì)設(shè)備的總體要求:
用于微納米器件及相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的電學(xué)特性測(cè)試平臺(tái),能夠?qū)崿F(xiàn)低溫、真空的測(cè)試環(huán)境;可對(duì)微納器件及相關(guān)樣品的電學(xué)特性、光電特性、DC參量進(jìn)行測(cè)量,溫度控制精確、探針漏電流與寄生電容低、測(cè)試信噪比高、整體穩(wěn)定性高;
溫度范圍: 4.5K-400K,四通道溫度測(cè)量,雙通道PID控溫;
探針臂:針尖:半徑25μm,漏電流:<100fA頻率:DC-50MHz,寄生電容: <50fF,電纜絕緣電阻>100GΩ,探針作熱沉
樣品卡盤:三軸,2英寸,絕緣電阻>100GΩ;
光纖探針臂:紅外多模光纖,波長(zhǎng):350-2400nm,芯徑50um, 外徑125um
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主要參數(shù)及技術(shù)指標(biāo):
一、技術(shù)參數(shù)及規(guī)格要求
1、制冷方式:液氦或液氦制冷
2、溫度范圍,4.5K-400K
3、直流探針臂:4個(gè)
4、漏電流:每個(gè)直流探針臂的漏電流小于100fA
5、針臂之間的寄生電容:<50fF
6、直流探針臂頻率:DC-50MHz,直流探針匹配50Ω電阻
7、電纜絕緣電阻>100GΩ
8、樣品卡盤:三軸,2英寸,絕緣電阻>100GΩ
9、其中1個(gè)探針臂安裝1個(gè)溫度計(jì),用來(lái)測(cè)量探針臂的溫度
10、直流探針做熱沉,探針臂和冷頭以及防輻射屏有良好熱接觸,直流探針尖對(duì)測(cè)量信號(hào)可以提供良好屏蔽和Guard
11、防輻射屏可以控溫
12、杜瓦壓力自動(dòng)控制
二、系統(tǒng)基本配置組成
1、開環(huán)探針臺(tái)
1.1 開環(huán)探針臺(tái):液氦溫區(qū)到400K
1.2 樣品級(jí)溫度傳感器,標(biāo)定的DT-670-SD-1.4H溫度計(jì),標(biāo)定范圍從1.4K到500K
1.3 樣品級(jí)加熱器50W
2、防輻射屏和紅外吸收窗口
2.1 溫度傳感器DT-670C-CU 硅二級(jí)管溫度計(jì)
2.2 防輻射屏加熱器100W
3、控溫設(shè)備
3.1 Lake Shore 336溫控儀,四路輸入,兩路輸出(同時(shí)監(jiān)視樣品臺(tái)、防輻射屏以及探針臂溫度)
4、真空腔體
4.1 探針臂開口6個(gè)等間距的開口
4.2 充氣口0.25in TPT,帶閥(只允許惰性氣體)
5、探針的導(dǎo)熱連接部件和熱輻射屏是直接和樣品座連接在一起的,一個(gè)探針臂的連接部件上帶一個(gè)鉑溫度計(jì),直接和6針的電接頭用電纜相連
6、光學(xué)包
6.1 光學(xué)Zoom 70顯微鏡
6.2 彩色CCD相機(jī)
6.3 掃描鏡頭臂鏡頭的調(diào)整臂可以進(jìn)行旋轉(zhuǎn)和上下升降,這樣確保在整個(gè)樣品架范圍內(nèi)對(duì)樣品進(jìn)行觀察,在更換樣品的時(shí)候,也可以把調(diào)整臂旋轉(zhuǎn)到一側(cè),方便更換。
6.4 顯示器17in顯示器
6.5 樣品照明設(shè)備,可調(diào)光源和電源
7、4個(gè)直流探針臂
8、4根低溫電纜,帶三軸接頭,最大頻率50MHz
9、2英寸三軸樣品架,帶三軸接頭
10、1個(gè)光纖備用臂,光纖卡具及光纖,350-2400nm芯徑50um, 外徑125um
11、杜瓦自動(dòng)控壓裝置
12、液氮杜瓦
13、100升液氦杜瓦
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