招標編號: | Z13744 |
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加入日期: | 2011.12.22 |
截止日期: | 2011.12.30 |
地 區(qū): | 浙江省 |
內 容: | 激光微細加工系統(tǒng)(Z13744) 1)CCD接口同步觀察,RS232接口遠端控制; 2)激光波長532nm,重復頻率優(yōu)于5Hz; 3)最小輸出功率小于0.5mJ/pulse,最大輸出功率大于2mJ/pulse; 4)脈沖脈寬:6~10 ns,抖動:±1 ns 4)可加工銅/金/多晶硅/鋁/二氧化硅等; 5)最小加工尺寸《2微米,最大加工尺寸》40微米; 6)光斑直徑:<3mm,通過擴束鏡擴大到6.6mm 7)自然發(fā)散角:<3mrad,通過擴束鏡壓縮至1mrad 8)能量不穩(wěn)定度:<3% 9)激光器TEC電子致冷 10)激光器具有外觸發(fā)功能 1 |
設備名稱
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技術指標
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數(shù)量
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激光微細加工系統(tǒng)(Z13744)
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1)CCD接口同步觀察,RS232接口遠端控制;
2)激光波長532nm,重復頻率優(yōu)于5Hz;
3)最小輸出功率小于0.5mJ/pulse,最大輸出功率大于2mJ/pulse;
4)脈沖脈寬:6~10 ns,抖動:±1 ns
4)可加工銅/金/多晶硅/鋁/二氧化硅等;
5)最小加工尺寸《2微米,最大加工尺寸》40微米;
6)光斑直徑:<3mm,通過擴束鏡擴大到6.6mm
7)自然發(fā)散角:<3mrad,通過擴束鏡壓縮至1mrad
8)能量不穩(wěn)定度:<3%
9)激光器TEC電子致冷
10)激光器具有外觸發(fā)功能
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