Lam4520刻蝕機調(diào)試（清設(shè)比選20221569號）采購公告
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公告摘要
各有關(guān)單位請于2022.10.02前與公告中聯(lián)系人聯(lián)系，及時參與投標(biāo)等相關(guān)工作，以免錯失商業(yè)機會。
部分信息內(nèi)容如下：（查看詳細(xì)信息請登錄）
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無
采購清單* 物資名稱 采購數(shù)量 計量單位 Lam****刻蝕機調(diào)試 * 套 品牌 品牌* 型號 品牌* 型號 品牌* 型號 單價 ￥ *"> 技術(shù)參數(shù)及配置要求 提供調(diào)試Lam****刻蝕機的服務(wù)，首付款后*個工作日內(nèi)人員到位，并在*周內(nèi)完成調(diào)試，調(diào)試結(jié)束后設(shè)備可以達到以下技術(shù)指標(biāo)：
*、本底真空：工藝腔*-* mTorr，傳片腔<***mTorr
*、漏率：工藝腔<* mTorr/min，傳片腔< **mTorr/min
*、工藝壓力范圍：設(shè)定值*%
*、流量計精確度：<±*%（滿量程）
*、壓力穩(wěn)定時間：第一步工藝前**秒內(nèi)
*、氣體流量計測試（最大流量**%）：設(shè)定值≤設(shè)定值*(±*%)
*、射頻電源參數(shù)：≤ (±*%)設(shè)定值
*、連續(xù)自動傳片無報警：>****Cycle
*、腔室溫度精確性：<±*%設(shè)定值
**、由于機械原因?qū)е碌臍怏w顆粒增加：<** ea (>*.**um)
**、晶圓碎片率：<*/****
**、氧化硅刻蝕速率及均勻性：>****Å/min/<±*%
**、氮化硅刻蝕速率及均勻性：>****Å/min/<±*%
**. PR刻蝕速率及均勻性：<****Å/min/<±**% 質(zhì)保期 *個月
****
****-**-** **:**:**
報價地址：http://sbgysfw.sysc.tsinghua.edu.cn/login.html
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施工準(zhǔn)備 土地整理 三通一平
工程施工 地基與基礎(chǔ)工程 樁基工程 預(yù)應(yīng)力工程 防水工程 保溫工程 爆破工程 加固除險工程 改造改建工程 回填工程 燃?xì)夤こ?/a> 防腐工程 電氣防雷工程 空調(diào)采暖工程 地下室 停車場 鋼結(jié)構(gòu) 膜結(jié)構(gòu) 給排水 聲屏障 道路工程 橋梁工程 市政工程
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